频率-电流扫描3ω法表征纳米薄膜界面热阻 |
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引用本文: | 王照亮,孙铭蔓,姚贵策,梁金国.频率-电流扫描3ω法表征纳米薄膜界面热阻[J].工程热物理学报,2015(4):861-864. |
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作者姓名: | 王照亮 孙铭蔓 姚贵策 梁金国 |
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作者单位: | 中国石油大学(华东)能源与动力工程系 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(No.51176205;No.U1262112) |
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摘 要: | 纳米薄膜与基体之间的界面热输运是MEMS系统热管理和热设计的热点和难点。建立了频率扫描3ω法的热阻抗网络模型。利用频率-电流扫描3ω法和不同厚度薄膜试样得到单层纳米薄膜与基体之间的界面热阻。ZrO_2、SiO_2增透膜与基体之间的界面热阻分别为0.108 m~2·K·MW~(-1)和0.066 m~2·K·MW~(-1)。发现界面热阻与扫描频率无关,未发现界面热阻随膜厚变化的尺度效应。实验和理论分析表明,声子近界面效应在增透膜和基体界面的热输运过程中起主导作用。
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关 键 词: | 纳米薄膜 界面热阻 频率扫描3ω法 电流扫描3ω法 声子近界面效应 |
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