非金属表面温度测量的薄膜热电偶技术 |
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引用本文: | 陈汉平,徐维新.非金属表面温度测量的薄膜热电偶技术[J].工程热物理学报,1989(4). |
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作者姓名: | 陈汉平 徐维新 |
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作者单位: | 上海交通大学
(陈汉平),上海交通大学(徐维新) |
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摘 要: | 薄膜热电偶是解决非金属表面温度测量的有效手段。它的工作原理与常规热电偶一样,但并不利用现成的热电偶丝材料,而是用离子轰击热电偶母材使之溅射到被测表面上沉积而制成的。显微检查表明溅射薄膜与被测表面的结合十分紧密,足以保证薄膜热电偶反映的确是被测表面温度。溅射薄膜的厚度一般只有0.5~1.0微米,常规热电偶要有
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