| 多层纳米薄膜结构热物性重构 |
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| 引用本文： | 王照亮,梁金国,唐大伟.多层纳米薄膜结构热物性重构[J].工程热物理学报,2009,30(3). |
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| 作者姓名： | 王照亮 梁金国 唐大伟 |
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| 作者单位： | 1. 中国石油大学(华东)储建学院,山东,东营,257061
2. 中国科学院工程热物理所,北京,100190 |
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| 摘 要： | 基于谐波探测技术测量材料导热系数和热扩散系数的基本原理,给出3ω法用于多层纳米薄膜结构热物性实验表征的方法.考虑了层间接触热阻的作用,在频域内定义了热阻抗的概念.理论分析了各层纳米薄膜的导热系数、热扩散系数等热参数对加热膜温度波动影响的敏感性.将敏感系数与实验数据处理相结合,利用三次谐波的实部和虚部分量测量了ZrO2/SiO2增透膜多层膜结构中各层的导热系数和热扩散系数.该方法可用来有效表征其他微纳米结构的热性能.
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| 关 键 词： | 3ω法 多层纳米薄膜结构 热阻抗 热物性 |
RECONSTRUCTION OF THERMAL PROPERTIES OF MULTILAYER NANO-FILM STRUCTURE |
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| WANG Zhao-Liang,LIANG Jin-Guo,TANG Da-Wei.RECONSTRUCTION OF THERMAL PROPERTIES OF MULTILAYER NANO-FILM STRUCTURE[J].Journal of Engineering Thermophysics,2009,30(3). |
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| Authors: | WANG Zhao-Liang LIANG Jin-Guo TANG Da-Wei |
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