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| 螺旋波激发甲烷等离子体光谱诊断 | |
| 引用本文： | 罗利霞,计晶晶,马淑一.螺旋波激发甲烷等离子体光谱诊断[J].原子与分子物理学报,2013,30(6):531-536. |
| 作者姓名： | 罗利霞 计晶晶 马淑一 |
| 作者单位： | 包头医学院,包头医学院,包头医学院 |
| 基金项目： | 中国工程研究院基金重大项目 |
| 摘 要： | 利用螺旋波激发等离子体化学气相沉积（LPP-CVD）技术，以甲烷和氦气为反应气体产生等离子体。通过采集到甲烷的可见光到紫外发射光谱，对甲烷等离子体进行原位诊断，发现存在CH、Hα及Hβ等碎片粒子的光辐射，同时，分析了不同入射功率、气压下CH粒子以及Hβ、Hγ的相对强度变化情况。结果表明：CH粒子的相对强度随着射频功率是先增大而后减小，随工作气压的增大而逐渐减小；随气压及功率的增加，Hβ、Hγ相对强度变化的总体趋势都是先增加而后减小的。 |
| 关 键 词： | 等离子体诊断，螺旋波等离子体化学气相沉积，甲烷 |
| 收稿时间： | 5/25/2012 9:43:56 AM |
| 修稿时间： | 6/21/2012 9:02:07 AM |
Spectrum diagnosis of the methane plasma excited by helicon-wave |
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| Abstract: | |
| Keywords: | spectrum diagnosis helicon-wave plasma chemical vapor deposition methane |
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