| 衬底温度对Ga液滴在Al_(0.4)Ga_(0.6)As表面形成纳米结构的影响 |
| |
| 引用本文： | 黄延彬,马明明,郭祥,王一,罗子江,汤佳伟,李志宏,张振东,丁召.衬底温度对Ga液滴在Al_(0.4)Ga_(0.6)As表面形成纳米结构的影响[J].原子与分子物理学报,2020,37(3):378-384. |
| |
| 作者姓名： | 黄延彬 马明明 郭祥 王一 罗子江 汤佳伟 李志宏 张振东 丁召 |
| |
| 作者单位： | 贵州大学大数据与信息工程学院,贵州大学大数据与信息工程学院,贵州大学大数据与信息工程学院,贵州大学大数据与信息工程学院,贵州财经大学信息学院,贵州大学大数据与信息工程学院,贵州大学大数据与信息工程学院,贵州大学大数据与信息工程学院,贵州大学大数据与信息工程学院 |
| |
| 摘 要： | 本文研究了不同衬底温度对Ga液滴在Al_(0.4)Ga_(0.6)As表面形成纳米结构的影响,当300℃≤T≤380℃时,Ga液滴演化成纳米孔(Nanohole)和盘状结构(diffusion halo),纳米结构的尺寸随温度升高而增大.当T≥385℃时,盘状结构消失,形成一定平坦的Al_xGa_(1-x)As薄膜,Ga液滴在界面处继续向下刻蚀直至耗尽,形成平均直径为75 nm,平均孔深为5.52 nm的纳米孔.本文还通过盘状结构测出平均扩散长度△R,并拟合出Ga原子在Al_(0.4)Ga_(0.6)As表面的激活能E_A=0.78(±0.01) eV和扩散前因子D_0=0.15(×4.1~(±1))10~(-2 ) cm~2s~(-1).
|
| 关 键 词： | 液滴外延 纳米孔 盘状结构 Al0.4Ga0.6As 激活能 |
| 收稿时间： | 2019/1/21 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2019/2/25 0:00:00 |
The effect of substrate temperature on the formation of nanostructures of Ga on Al0.4Ga0.6As surface |
| |
| Huang Yan-Bin,Ma Ming-Ming,Guo Xiang,Wang Yi,Luo Zi-Jiang,Tang Jia-Wei,Li Zhi-Hong,Zhang Zhen-Dong and Ding Zhao.The effect of substrate temperature on the formation of nanostructures of Ga on Al0.4Ga0.6As surface[J].Journal of Atomic and Molecular Physics,2020,37(3):378-384. |
| |
| Authors: | Huang Yan-Bin Ma Ming-Ming Guo Xiang Wang Yi Luo Zi-Jiang Tang Jia-Wei Li Zhi-Hong Zhang Zhen-Dong and Ding Zhao |
| |
| Institution: | College of Big Data and Information Engineering of Guizhou University |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《原子与分子物理学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《原子与分子物理学报》下载免费的PDF全文 |
|
