| 零砷压下Ga液滴在AlGaAs表面扩散行为的研究 |
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| 引用本文： | 王一,魏节敏,郭祥,马明明,汤佳伟,王继红,罗子江,杨晨,丁召.零砷压下Ga液滴在AlGaAs表面扩散行为的研究[J].原子与分子物理学报,2019,36(5):856-860. |
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| 作者姓名： | 王一 魏节敏 郭祥 马明明 汤佳伟 王继红 罗子江 杨晨 丁召 |
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| 作者单位： | 贵州大学,贵州大学,贵州大学,贵州大学,贵州大学,贵州大学,贵州财经大学,贵州大学,贵州大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金,省市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 本文研究了Ga液滴在Al_(0.4)Ga_(0.6)As表面的扩散行为.在衬底温度为380℃时,在Al_(0.4)Ga_(0.6)As薄膜上沉积3 MLGa液滴;在零砷压下,通过改变退火时间(0 s, 150 s, 300 s, 450 s, 600 s)观察液滴形貌变化,利用剖面线、坑洞和液滴的比例变化分析发现液滴高度随时间延长越来越低,直至形成坑洞,Ga液滴内部的原子在Al_(0.4)Ga_(0.6)As表面上首先向外扩散,而后与表面As原子结合成环,约在退火时间到500 s时扩散模式逐步变化为向下溶蚀.利用公式计算出最初Ga覆盖率约为2.6 ML,并且在380℃下Ga液滴在Al_(0.4)Ga_(0.6)As表面的液滴消耗速率为0.0065 ML/s.
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| 关 键 词： | Ga液滴 扩散 Al0.4Ga0.6As |
| 收稿时间： | 2018/12/10 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2019/1/2 0:00:00 |
Study on diffusion behavior of Ga droplet on AlGaAs surface without arsenic pressure |
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| Wang Yi,Wei Jie-Ming,Guo Xiang,Ma Ming-Ming,Tang Jia-Wei,Wang Ji-Hong,Luo Zi-Jiang,Yang Chen and Ding Zhao.Study on diffusion behavior of Ga droplet on AlGaAs surface without arsenic pressure[J].Journal of Atomic and Molecular Physics,2019,36(5):856-860. |
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| Authors: | Wang Yi Wei Jie-Ming Guo Xiang Ma Ming-Ming Tang Jia-Wei Wang Ji-Hong Luo Zi-Jiang Yang Chen and Ding Zhao |
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| Institution: | Guizhou University,Guizhou University,Guizhou University,Guizhou University,Guizhou University,Guizhou University,Guizhou University of Finance and Economics,Guizhou University and Guizhou University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ga droplets Diffusion Al0 4Ga0 6As |
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