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高分辨率蓝光光学显微测量系统
引用本文:张东玲,贺锋涛,冯晓强,侯洵.高分辨率蓝光光学显微测量系统[J].应用光学,2005,26(3):57-59.
作者姓名:张东玲  贺锋涛  冯晓强  侯洵
作者单位:1. 河南大学,物理与信息光电子学院,河南,开封,475001;中科院,西安光学精密机械研究所,瞬态光学技术国家重点实验室,陕西,西安,710068
2. 中科院,西安光学精密机械研究所,瞬态光学技术国家重点实验室,陕西,西安,710068
摘    要:本系统用波长为405nm的超亮度蓝色发光二极管作为光学显微镜的照明光源,结合CCD图像传感技术和图像采集技术,实现了对显微图像的实时观察和存取的计算机化。观察到的DVD盘片的清晰显微图像表明,其光学分辨率优于400nm。运用自编的图像分析软件对采集到的CD RW光盘图像进行分析和标定,测定其道间距为1.6μm。因此,本系统在显微观测领域,特别是对观测和分析接近普通光学显微镜分辨极限尺寸的微结构,有重要的实用价值。

关 键 词:光学显微镜  CCD图像传感器  蓝色发光二极管  分辨率  显微测量
文章编号:1002-2082(2005)03-0057-03
收稿时间:2004/2/16

High-resolution Optical Micro-Survey System with Blue Illuminating Source
ZHANG Dong-ling,HE Feng-tao,FENG Xiao-qiang,HOU Xun.High-resolution Optical Micro-Survey System with Blue Illuminating Source[J].Journal of Applied Optics,2005,26(3):57-59.
Authors:ZHANG Dong-ling  HE Feng-tao  FENG Xiao-qiang  HOU Xun
Institution:1.Institute of Physics &; Information Photoelectronics,Henan University,Kaifeng 475001,China;
2.State Key Lab
of Transient Optics and Technology,Xi'an Institute of Optics &; Precision Mechanics, ASC,Xi’an 710068,China
Abstract:With the 405nm LED source, a high-resolution optical Micro-Survey system is setup. The distinct micro-image of DVD disk with resolution of 400nm can be obtained using this system.Combing with CCD and the technology of image collection with computer, the systemcan perform the real time collection and computerized capture of micro-images. Moreover, the collected micro-images can be demarcated and analyzed by the image-analyzed software.
Keywords:optical microscope  CCD image sensor  blue LED  resolution  micro-survey
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