| 基于YAG透明陶瓷制作衍射光栅元件的研究 |
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| 引用本文： | 李豪伟,龚勇清,夏侯命玖,肖孟超,罗宁宁.基于YAG透明陶瓷制作衍射光栅元件的研究[J].应用光学,2015,36(1):98. |
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| 作者姓名： | 李豪伟 龚勇清 夏侯命玖 肖孟超 罗宁宁 |
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| 作者单位： | 1. 南昌航空大学测试与光电工程学院，江西南昌330063; 无损检测技术教育部重点实验室，江西南昌330063
2. 无损检测技术教育部重点实验室,江西南昌,330063 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61261026)；南昌航空大学研究生创新专项资金 |
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| 摘 要： | 研究并制作了以钇铝石榴石(YAG)透明陶瓷为基底材料的衍射光栅元件。通过磁控溅射技术在YAG透明陶瓷表面溅射一层均匀致密的金属铬, 获得带有硬掩模的陶瓷样品。借助接触式曝光系统进行光刻, 反复试验, 获得带有衍射光栅的YAG透明陶瓷样品。经光学轮廓仪检测, 样品铬膜厚0.072 μm, 光栅细节得到完好保留。实际光栅的衍射图样再次验证了以YAG透明陶瓷代替传统微光刻基底材料制作衍射光栅的可行性, 使得衍射光栅在更为复杂的环境下发挥作用成为可能。
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| 关 键 词： | 衍射光栅 YAG透明陶瓷 磁控溅射 接触式曝光系统 |
| 收稿时间： | 2014/8/28 |
Fabrication of diffractive grating based on YAG transparent ceramics |
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| Li Haowei,Gong Yongqing,XiaHou Mingjiu,Xiao Mengchao,Luo Ningning.Fabrication of diffractive grating based on YAG transparent ceramics[J].Journal of Applied Optics,2015,36(1):98. |
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| Authors: | Li Haowei Gong Yongqing XiaHou Mingjiu Xiao Mengchao Luo Ningning |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diffractive grating YAG transparent ceramics DC reactive magnetron sputtering contact UV-lithography system |
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