| 45°光纤微反射镜聚焦离子束加工及多轴位移检测研究 |
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| 引用本文： | 李俊,李嘉伟,张鼎博,刘旭,李阔,马天,王伟峰,翟小伟.45°光纤微反射镜聚焦离子束加工及多轴位移检测研究[J].应用光学,2021,42(3):557-564. |
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| 作者姓名： | 李俊 李嘉伟 张鼎博 刘旭 李阔 马天 王伟峰 翟小伟 |
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| 作者单位： | 1.西安科技大学 安全科学与工程学院，陕西 西安 710054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（51974236） |
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| 摘 要： | 聚焦离子束加工作为一种微纳加工手段，可以用来制造纳米元件和微结构元件。研究了在多芯光纤的末端，使用聚焦离子束加工技术设计和制造45°镜面的全过程。该光学镜面由两步加工完成，首先是扫描过程，用来制造粗糙的切割面；然后是抛光过程，用来完成光学表面的光洁处理。加工完成的45°镜面可以准确地与光纤的纤芯对接，避免了外部转向镜组件对接的相关问题。实验测试表明，加工的结构可以通过干涉测量两个垂直轴向的位移值，检测位移测量范围大致为60 μm，X和Y方向的均方根绝对测量误差约为1.75‰和1.97‰。该技术有望用于精密零件内表面、血管内壁等检测领域。
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| 关 键 词： | 物理光学 微加工 聚焦离子束 位移检测 |
| 收稿时间： | 2020-09-30 |
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