| Ge0.05Si0.95／Si异质结单模共面布拉格反射波导光栅的设计与分析 |
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| 引用本文： | 徐勤昌,刘淑平,郭云香.Ge0.05Si0.95／Si异质结单模共面布拉格反射波导光栅的设计与分析[J].应用光学,2008,29(5). |
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| 作者姓名： | 徐勤昌 刘淑平 郭云香 |
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| 作者单位： | 太原科技大学,山西,太原,030024 |
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| 摘 要： | GeSi/Si异质结布拉格反射光栅是硅基光电集成领域一种重要的集成光学器件,分析GeSi/Si异质结的传光特性和布拉格条件,通过求解布拉格光栅方程,得出耦合系数和耦合效率.利用上述原理设计出入射角为66°,波导层的厚度为2 μm,光栅长度为4 252 μm,槽深为0.05 μm,光栅周期为0.456 μm,滤波带宽为0.214 nm,耦合效率为84.1%的1.3 μm Ge0.05Si0.95/Si异质结单模共面布拉格反射光栅,并用数值模拟了入射光渡电场和反射光波电场的分布.
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| 关 键 词： | GeSi/Si异质结 布拉格反射波导光栅 分/合渡器 电场分布 |
Analysis and design of Ge0.05Si0.95/Si heterojunction single-mode coplanar Bragg reflection waveguide grating |
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| XU Qin-chang,LIU Shu-ping,GUO Yun-xiang.Analysis and design of Ge0.05Si0.95/Si heterojunction single-mode coplanar Bragg reflection waveguide grating[J].Journal of Applied Optics,2008,29(5). |
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| Authors: | XU Qin-chang LIU Shu-ping GUO Yun-xiang |
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