| 直流磁控溅射Cr-Cr2O3复合金属陶瓷薄膜光学特性研究 |
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| 引用本文： | 卢进军,潘永强.直流磁控溅射Cr-Cr2O3复合金属陶瓷薄膜光学特性研究[J].应用光学,2008,29(5). |
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| 作者姓名： | 卢进军 潘永强 |
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| 作者单位： | 西安工业大学,光电工程学院,陕西,西安,710032 |
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| 基金项目： | 西安工业大学校长科研基金 |
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| 摘 要： | 采用直流反应磁控溅射技术在不同靶电流条件下制备了Cr-Cr2O3金属陶瓷薄膜,并利用椭偏仪测量了薄膜的光学常数.采用修正的M-G(Maxwell-Gannett)理论对不同靶电流条件下沉积的Cr-Cr2O3金属陶瓷薄膜的光学常数进行了理论计算,并将理论计算结果与实验数据进行了比较.结果表明:随着靶电流的增加,膜层中金属微粒体积百分比增加,金属微粒的平均半径随之增加,且金属微粒逐渐趋于扁圆形,理论计算结果与实验结果吻合较好.
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| 关 键 词： | 直流磁控溅射 金属陶瓷薄膜 光学常数 修正M-G理论 |
Optical properties of Cr-Cr2O3 cermet films deposited by DC magnetron sputtering |
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| LU Jin-jun,PAN Yong-qiang.Optical properties of Cr-Cr2O3 cermet films deposited by DC magnetron sputtering[J].Journal of Applied Optics,2008,29(5). |
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| Authors: | LU Jin-jun PAN Yong-qiang |
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