| 离子束修形技术 |
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| 引用本文： | 戴一帆,周林,解旭辉,廖文林,沈永祥.离子束修形技术[J].应用光学,2011,32(4):753-760. |
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| 作者姓名： | 戴一帆 周林 解旭辉 廖文林 沈永祥 |
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| 作者单位： | 国防科技大学机电工程与自动化工程学院, 湖南长沙410073 |
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| 摘 要： | 离子束修形技术具有精度高、确定性好等优点，应用越来越广泛。介绍了离子束修形技术的原理和特点，以及国外离子束修形技术的发展历程和现状，并介绍了国内离子束修形技术的发展现状。针对当前离子束修形技术的研究热点，如中高频误差控制技术、驻留时间求解算法和加工工艺等方面，综述了国内外的研究现状。
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| 关 键 词： | 离子束修形 抛光 驻留时间 光学加工 |
Ion beam figuring technology |
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| DAI Yi-fan,ZHOU Lin,XIE Xu-hui,LIAO Wen-lin,SHEN Yong-xiang.Ion beam figuring technology[J].Journal of Applied Optics,2011,32(4):753-760. |
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| Authors: | DAI Yi-fan ZHOU Lin XIE Xu-hui LIAO Wen-lin SHEN Yong-xiang |
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| Institution: | College of Mechatronic Engineering and Automation, National University of Defense Technology,Changsha 410073, China |
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| Abstract: | The ion beam figuring(IBF) technology is widely used for precision and deterministic process.This paper introduced the principles and characteristics of IBF,described its development status at home and abroad,summarized the research focus of IBF such as the technology to control the mid-high spatial frequency error,the algorithm to solve dwell time,and the processing technique. |
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| Keywords: | ion beam figuring polishing dwell time optical processing |
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