| 7056玻璃与大面积GaAs外延片粘接工艺分析 |
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| 引用本文： | 冯驰.7056玻璃与大面积GaAs外延片粘接工艺分析[J].应用光学,1991,12(5):33-36,9. |
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| 作者姓名： | 冯驰 |
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| 作者单位： | 西安应用光学研究所 |
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| 摘 要： | 介绍7056窗玻璃与大面积GaAs外延片的牯接工艺,并分析了GaAs片的表面形状、氮化硅的厚度、组分及粘接前的清洁处理工艺对粘接质量的影响。着重讨论了压力、温度和加热速率三者之间内在联系及其选取范围,给出了粘接工艺的调整和控制方法。
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| 关 键 词： | 玻璃 GaAs 外延片 粘接 光电阴极 |
Cementing Technologic Analysis for 7056-glass and Large Area GaAs Epitaxial Plate |
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| Feng Chi.Cementing Technologic Analysis for 7056-glass and Large Area GaAs Epitaxial Plate[J].Journal of Applied Optics,1991,12(5):33-36,9. |
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| Authors: | Feng Chi |
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| Institution: | Xian Institute of Applied Optios |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | GaAs epitaxial plate cementing photocathode |
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