| 光栅计量装置中离焦误差的控制 |
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| 引用本文： | 廖兆曙,陶景光,杨坤涛.光栅计量装置中离焦误差的控制[J].应用光学,1994(1). |
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| 作者姓名： | 廖兆曙 陶景光 杨坤涛 |
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| 作者单位： | 华中理工大学光学工程系!武汉，430074，华中理工大学光学工程系!武汉，430074，华中理工大学光学工程系!武汉，430074 |
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| 摘 要： | 探讨光栅成像式莫尔条纹计量装置中离焦误差的影响，提出用莫尔条纹方向的稳定性来提高光栅定位精度的方法。
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| 关 键 词： | 光栅 莫尔条纹 离焦误差 |
CONTROL OF OUT-OF-FOGUS ERROR IN GRATING METRIC DEVICE |
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| Liao Zhaoshu,Tao Jingguang,Yang Kuntao.CONTROL OF OUT-OF-FOGUS ERROR IN GRATING METRIC DEVICE[J].Journal of Applied Optics,1994(1). |
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| Authors: | Liao Zhaoshu Tao Jingguang Yang Kuntao |
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| Abstract: | The effect of out- of- focus error in grating maging Moire fringe metric system is approached, and a method for increasing of grating positioning accuracy by use of the stability of Moire fringe direction is given. |
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| Keywords: | grating Moire fringe out- of -focus error |
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