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| 平面面形动态干涉仪 | |
| 引用本文： | 武晓东,黄玮,等.平面面形动态干涉仪[J].应用光学,1998,19(6):9-11. |
| 作者姓名： | 武晓东 黄玮 |
| 作者单位： | [1]中国科学院长春光学精密机械研究所，长春130022 [2]国家光学机械质量监督检验中心，长春130022 |
| 摘 要： | 本文所介绍的平面面形动态干涉仪主要用于解决空间相机成像胶片面不平度的检测，也可用于其它光学平面和非光学平面面形的测试。 |
| 关 键 词： | 平面面形检测 不平度 斜入射干涉法 动态干涉仪 相机成像胶片 |
PLANE SURFACE SHAPE DYNAMIC INTERFEROMETER |
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| Wu Xiaodong,Liu Zhenjiang.PLANE SURFACE SHAPE DYNAMIC INTERFEROMETER[J].Journal of Applied Optics,1998,19(6):9-11. | |
| Authors: | Wu Xiaodong Liu Zhenjiang |
| Abstract: | |
| Keywords: | plane surface shape test disflatness oblique incidence interferometry dynamic interferometer |
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