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用于涂镀金属管内表面的同轴ECR等离子体源

引用本文：	朱笑非.用于涂镀金属管内表面的同轴ECR等离子体源[J].等离子体应用技术快报,1999(5):10-11.

作者姓名：	朱笑非

摘要：
关键词：	ECR 等离子体源表面改性金属管
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