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空心阴极弧蒸发装置中的等离子体条件的确定

引用本文：	拾灵.空心阴极弧蒸发装置中的等离子体条件的确定[J].等离子体应用技术快报,2000(9):24-26.

作者姓名：	拾灵

摘要：
关键词：	空心阴极弧蒸发装置等离子体
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