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用平衡和非平衡磁控管溅射制备的装饰性硬涂层

引用本文：	卫冰.用平衡和非平衡磁控管溅射制备的装饰性硬涂层[J].等离子体应用技术快报,2000(12):1-4.

作者姓名：	卫冰

摘要：
关键词：	平衡磁控管非平衡磁控管磁控溅射制备装饰性硬涂层
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