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腔型减幅振荡技术在大面积rf等离子体反应器中的应用

引用本文：	尚志.腔型减幅振荡技术在大面积rf等离子体反应器中的应用[J].等离子体应用技术快报,2000(10):3-5.

作者姓名：	尚志

摘要：
关键词：	腔型减幅振荡技术大面积RF等离子体反应器等离子体诊断
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