等离子体化学气相生成法制备B（C,N）薄膜期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

按检索

等离子体化学气相生成法制备B（C,N）薄膜

引用本文：	方正.等离子体化学气相生成法制备B（C,N）薄膜[J].等离子体应用技术快报,2000(4):5-6.

作者姓名：	方正

摘要：
关键词：	等离子体化学气相生成法碳化硼薄膜氮化硼薄膜
本文献已被维普等数据库收录！