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用不同的含硼靶通过反应性射频与直流溅射制备立方晶氮化硼膜

引用本文：	周清明.用不同的含硼靶通过反应性射频与直流溅射制备立方晶氮化硼膜[J].等离子体应用技术快报,1996(7):9-10.

作者姓名：	周清明

摘要：
关键词：	氮化硼薄膜射频溅射
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