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采用Si离子植入在SiO2中合成纳米尺寸的Si晶体

引用本文：	胡刚.采用Si离子植入在SiO2中合成纳米尺寸的Si晶体[J].等离子体应用技术快报,1997(10):17-18.

作者姓名：	胡刚

摘要：
关键词：	硅离子离子植入二氧化硅纳米晶体硅
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