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高混杂波对均匀ECR等离子体的影响

引用本文：	李兵.高混杂波对均匀ECR等离子体的影响[J].等离子体应用技术快报,2000(2):24-25.

作者姓名：	李兵

摘要：
关键词：	电子回旋共振离子源等子体加工蚀刻均匀ECR等离子体高混杂波
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