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在磁控微波等离子体中蚀刻微细接触孔

引用本文：	文允监.在磁控微波等离子体中蚀刻微细接触孔[J].等离子体应用技术快报,1995(10):3-4.

作者姓名：	文允监

摘要：
关键词：	集成电路超大规模微波离子蚀刻接触孔
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