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超临界流体中TiO2膜的沉积工艺

引用本文：	康卫红.超临界流体中TiO2膜的沉积工艺[J].等离子体应用技术快报,1995(9):7-8.

作者姓名：	康卫红

摘要：
关键词：	二氧化钛薄膜沉积超临界流体
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