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| 热处理工艺对MgB_2超导薄膜制备和表面形貌的影响 | |
| 作者单位： | ;1.贵州大学大数据与信息工程学院;2.贵州大学科技学院;3.贵州民族大学机电工程学院 |
| 摘 要： | MgB_2作为一种独特而重要的高温超导材料(HTS),具备超导转变温度高,相干长度大,临界电流和临界磁场高等优势,具有在超导电子学领域大规模应用的潜力。基于MgB_2超导薄膜的超导器件的制备是该材料能否走向大规模应用的关键。在MgB_2超导薄膜的CVD法制备过程中,通过优化退火工艺的温度参数,使得MgB_2超导薄膜在单晶基片上的附着和稳定性增强。加入回火处理工艺,提高了薄膜表面的平整度,为MgB_2超导薄膜从材料走向器件创造了条件。 |
| 关 键 词： | MgB2超导薄膜 退火反应 回火处理 超导器件 |
The effect of heat processing on the growth and surface topography of MgB_2 superconducting thin film |
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