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| 铌/铝SNSPD的光耦合结构和性能表征 | |
| 引用本文： | 张立群,徐正,蒋振南,刘建设,李铁夫,陈炜.铌/铝SNSPD的光耦合结构和性能表征[J].低温与超导,2014(11). |
| 作者姓名： | 张立群 徐正 蒋振南 刘建设 李铁夫 陈炜 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所;清华信息科学与技术国家实验室(筹); |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(2011CBA00304);国家自然科学基金(60836001,61174084,61106121,U1330201);清华大学自主科研计划(20131089314)资助 |
| 摘 要： | 对铌/铝超导纳米线单光子探测器(SNSPD)的光耦合结构和性能表征进行了研究。通过溅射与剥离的方法制作了超薄铌/铝SNSPD,设计了带有激光准直器的光耦合结构和封装方法,并搭建了可靠的低温测试系统。在700m K下表征了SNSPD的直流特性,得到了单光子响应脉冲和1550nm波长下的探测效率,并研究了探测效率和暗计数率与偏置电流的关系。 |
| 关 键 词： | 超导 单光子 光耦合 效率 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |