红外CCD探测器半导体制冷组件的研制 |
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引用本文: | 闫浩,朱魁章,高瑶,杨海明.红外CCD探测器半导体制冷组件的研制[J].低温与超导,2018(8). |
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作者姓名: | 闫浩 朱魁章 高瑶 杨海明 |
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作者单位: | 低温技术安徽省重点试验室中国电子科技集团公司第十六研究所 |
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摘 要: | 红外CCD成像器件在高温环境下工作,暗电流噪声大大增加,严重影响探测灵敏度。对此,使用半导体制冷和真空封装技术设计了探测器制冷组件,使CCD探测器稳定工作在合适温度,以相对较小的体积和功耗显著地提高红外器件的探测灵敏度。本文对探测器制冷组件整体结构、半导体制冷器选型、冷端耦合结构和热端散热结构进行了研究,最终在高温65℃环境下工作时,CCD探测器制冷温度达到-27℃,组件重量0.8kg。
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