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电子束蒸发在不同Ar气氛下外退火制备MgB2超导薄膜
引用本文:吴克,余增强,张解东,王守证,聂瑞娟,王福仁.电子束蒸发在不同Ar气氛下外退火制备MgB2超导薄膜[J].低温物理学报,2006,28(3):212-218.
作者姓名:吴克  余增强  张解东  王守证  聂瑞娟  王福仁
作者单位:北京大学物理学院,人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京,100871
基金项目:教育部跨世纪优秀人才培养计划
摘    要:制备高质量的MgB2薄膜是实现MgB2超导电子器件应用的前提和基础.我们用电子束蒸发B膜和Mg/B多层膜为前驱然后后退火的方法,分别在高温区(~900℃)和中温区(~750℃)成功获得了MgB2超导薄膜.改变退火的Ar气压条件,采用B膜前驱退火的样品Tc可达到38K以上,转变宽度0.3K.Mg/B多层膜的结果尽管Tc稍低(Tc~35K),但薄膜表面更加均匀,且避免了高温下Mg蒸汽污染的问题.对于两种前驱退火中观察到的完全不同的退火气压影响,我们认为是与其各自的超导成相过程相联系的,在此基础上我们对退火气压效应给出了自己的分析和解释,为今后进一步细致研究退火过程中的薄膜生长机制提供了参考.

关 键 词:MgB2薄膜  电子束蒸发  外退火  超导成相
收稿时间:11 28 2005 12:00AM
修稿时间:03 7 2006 12:00AM

SUPERCONDUCTING MgB2 FILMS VIA EX-SITU ANNEALING UNDER DIFFERENT Ar PRESSURE PREPARED BY E-BEAM EVAPORATION
Wu Ke,Yu Zeng-Qiang,ZHang Jie-Dong,Wang SHou-ZHeng,Nie Rui-Juan,Wang Fu-Ren.SUPERCONDUCTING MgB2 FILMS VIA EX-SITU ANNEALING UNDER DIFFERENT Ar PRESSURE PREPARED BY E-BEAM EVAPORATION[J].Chinese Journal of Low Temperature Physics,2006,28(3):212-218.
Authors:Wu Ke  Yu Zeng-Qiang  ZHang Jie-Dong  Wang SHou-ZHeng  Nie Rui-Juan  Wang Fu-Ren
Abstract:
Keywords:MgB_2 thin films  E-beam evaporation  ex-situ annealing  superconducting phase formation  
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