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| 不同衬底上制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的微结构研究 | |
| 引用本文： | 王小平,刘援,王霈文,李季,林晨光,华志强,冯稷,吴柏枚,杜英磊.不同衬底上制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜的微结构研究[J].低温物理学报,2002,24(2):81-86. |
| 作者姓名： | 王小平 刘援 王霈文 李季 林晨光 华志强 冯稷 吴柏枚 杜英磊 |
| 作者单位： | 1. 北京有色金属研究总院,北京,100088 2. 中国科学院物理研究所,北京,100080 3. 中国科学技术大学,合肥,230026 |
| 基金项目： | 国家超导技术联合研究开发中心资助项目，国家自然科学基金，，10174070，， |
| 摘 要： | 采用大直径中空柱状阴极直流磁控制溅射装置，在LaAlO3和Zr(Y)O2衬底上制备YBCO超导薄膜。用透射电镜（TEM）、扫描隧道显微镜（SIM）和原子力显微镜（AFM）对薄膜和衬底间的界面，薄膜的螺旋生长结构，YBCO薄膜及其相应衬底的表面形貌进行了观察和测量。分析了基片表面形貌及表层内缺陷对界面附近薄膜组织结构的影响。研究了不同衬底沉积的超导薄膜具有不同表面形貌的原因。从生长机理角度对表面形貌、缺陷和位错的形成机制进行讨论。 |
| 关 键 词： | 制备 YBa2Cu3O7－δ 超导薄膜 微结构 高温超导体 表面形貌 缺陷 生长机理 位错 钇钡铜复合氧化物 |
| 修稿时间： | 2001年10月30 |
STUDY OF MICROSTRUCTURE OF YBCOFILMS ON DIFFERENT SUBSTRATESProject |
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