| GeTe 相变薄膜的结构及光学性能研究 |
| |
| 引用本文： | 田永红,张敏,辛霞,陈储君,卫芬芬,卢红兵.GeTe 相变薄膜的结构及光学性能研究[J].低温物理学报,2018(1):1-5. |
| |
| 作者姓名： | 田永红 张敏 辛霞 陈储君 卫芬芬 卢红兵 |
| |
| 作者单位： | 陕西师范大学物理学与信息技术学院;陕西师范大学基础实验教学中心 |
| |
| 摘 要： | 相变材料可迅速地实现晶态与非晶态之间的相互转换,在相变存储领域具有重要的应用.本文用脉冲激光沉积(PLD)法在Si衬底上制备了高质量的GeTe相变薄膜,并对不同温度下退火的GeTe薄膜进行了结构和光学反射率的表征.实验结果表明,室温沉积的GeTe薄膜为非晶态结构,薄膜的结晶化温度约为250℃.随着退火温度的增加,(202)衍射峰位逐渐向低角方向移动,(202)面间距逐渐增加,这可能与退火薄膜中存在大的压应力有关.薄膜的光学反射率测试表明我们制备薄膜的晶态和非晶态具有高的反射率对比度.以上结果表明PLD法制备的GeTe薄膜在光学相变存储领域具有较好的应用潜能.
|
| 关 键 词： | GeTe 脉冲激光沉积 相变 光学性能 |
Structureand Optical Properties of GeTe Phase-change Films |
| |
| TIAN Yonghong,ZHANG Min,XIN Xi,CHEN Chujun,WEI Fenfen and LU Hongbing.Structureand Optical Properties of GeTe Phase-change Films[J].Chinese Journal of Low Temperature Physics,2018(1):1-5. |
| |
| Authors: | TIAN Yonghong ZHANG Min XIN Xi CHEN Chujun WEI Fenfen and LU Hongbing |
| |
| Institution: | School of Physics and Information Technology, Shaanxi Normal University,School of Physics and Information Technology, Shaanxi Normal University,School of Physics and Information Technology, Shaanxi Normal University,School of Physics and Information Technology, Shaanxi Normal University,Basic Experimental Teaching Center ,Shaanxi Normal University and School of Physics and Information Technology, Shaanxi Normal University |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | GeTe Pulsedlaser deposition Phase-change Optical properties |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《低温物理学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《低温物理学报》下载免费的PDF全文 |
|
