| PLD法制备PZT-YBCO结构的铁电薄膜的研究 |
| |
| 引用本文： | 吴平,彭润玲,符欣.PLD法制备PZT-YBCO结构的铁电薄膜的研究[J].低温物理学报,2005,27(4):326-330. |
| |
| 作者姓名： | 吴平 彭润玲 符欣 |
| |
| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学理学院,南京,210016
2. 上海理工大学光电学院,上海,200093 |
| |
| 摘 要： | 本文利用脉冲准分子激光在LaAlO3单晶基片上淀积了YBCO和Zr/Ti为94/6的PZT铁电薄膜,并通过高频溅射将Pt蒸镀在PZT薄膜上作为上电极;用X射线衍射表征了该多层膜的晶相结构,测量了PZT的铁电性能和介电特性,讨论了PZT/YBCO薄膜的制备工艺,以及工艺条件对晶相结构和薄膜性能的影响.
|
| 关 键 词： | PZT薄膜 YBCO薄膜 激光脉冲淀积 |
| 收稿时间： | 10 15 2004 12:00AM |
| 修稿时间： | 03 18 2005 12:00AM |
STUDY ON PZT-YBCO FERROELECTRIC FILMS PREPARED BY PLD TECHNIQUE |
| |
| WU-PING,PENG RUN-LING,FU-XIN.STUDY ON PZT-YBCO FERROELECTRIC FILMS PREPARED BY PLD TECHNIQUE[J].Chinese Journal of Low Temperature Physics,2005,27(4):326-330. |
| |
| Authors: | WU-PING PENG RUN-LING FU-XIN |
| |
| Institution: | 1 College of science, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016; 2 College of Optoelectric Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | PZT thin film YBCO thin film Pulsed laser deposition |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
