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| 耐熔金属约瑟夫逊隧道结制备中Nb／AlOx—Al／Nb结构质量的检验 | |
| 引用本文： | 陈赓华,韩智毅.耐熔金属约瑟夫逊隧道结制备中Nb／AlOx—Al／Nb结构质量的检验[J].低温物理学报,1996,18(6):411-419. |
| 作者姓名： | 陈赓华 韩智毅 |
| 作者单位： | 中科院物理所 |
| 摘 要： | 在耐熔金属约瑟夫逊制备过程中，我们应用各种分析技术对Ｎｂ／ＡｌＯｘ－Ａｌ／Ｍｂ基本结构的质量作了检验；基于这些分析，从实验上了用直流磁控溅射制备该结构时的最佳参数。 |
| 关 键 词： | 约瑟夫逊 隧道结 超导物理 耐熔金属 结构 质量 |
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