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| 单源溶液超声波雾化MOCVD法在Ag基体上制备YBCO膜 | |
| 引用本文： | 袁凤池,谢义元.单源溶液超声波雾化MOCVD法在Ag基体上制备YBCO膜[J].低温物理学报,1995,17(6):448-451. |
| 作者姓名： | 袁凤池 谢义元 |
| 作者单位： | 冶金工业部长沙矿研究院 |
| 基金项目： | 国家超导技术联合开发中心资助 |
| 摘 要： | 本报道了用单溶液超声波雾化ＭＯＣＶＤ工艺在金属Ａｇ基体上制备了ＹＢＣＯ超导膜的结果。将Ｙ（ＴＭＨＤ）３、Ｂａ（ＴＭＨＤ）２和Ｃｕ（ＴＭＨＤ）２按要求比例溶于四氢呋喃中，经超声波雾化，通过毛细管送入蒸发室，随即进入沉积室，在Ａｇ基体上沉积ＹＢＣＯ。该技术有效地简化了ＣＶＤ过程，提高了所制样品的再现性。ＸＲＤ分析表明，ＹＢＣＯ膜具有较好的ｃ－轴取和向单相性。 |
| 关 键 词： | 化学气相淀积 银基体 YBCO 超导膜 |
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