| 基于高温超导单晶材料的大尺寸约瑟夫森本征结制备工艺研究 |
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| 引用本文： | 张秋奕,姜振国,陈健,康琳,许伟伟,吴培亨.基于高温超导单晶材料的大尺寸约瑟夫森本征结制备工艺研究[J].低温物理学报,2012(5):327-332. |
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| 作者姓名： | 张秋奕 姜振国 陈健 康琳 许伟伟 吴培亨 |
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| 作者单位： | 南京大学超导电子学研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(11173015);教育部博士点基金项目(20090091110039)资助的课题~~ |
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| 摘 要： | 基于高温超导单晶材料Bi2Sr2CaCu2O8+x(BSCCO)的约瑟夫森(Josephson)本征结器件制备工艺,成功制备出形貌整齐、特性良好、一致性高的大尺寸太赫兹辐射源本征结器件.从工艺的各个步骤出发,总结了要点,并对原有工艺做出改进.通过扫描电子显微镜观察刻蚀形貌,总结了光刻最佳后烘温度条件,提出了一套重复性好、成功率高的工艺方法.
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| 关 键 词： | Bi2Sr2CaCu2O8+x 高温超导单晶 本征结 太赫兹 扫描电子显微镜 |
FABRICATION OF LARGE SIZE JOSEPHSON INTRINSIC JUNCTIONS BASED ON THE HIGH TEMPERATURE SUPERCONDUCTING SINGLE CRYSTAL MATERIAL |
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| ZHANG Qiu-Yi JIANG Zhen-guo,CHEN Jian,KANG Lin,XU Wei-wei,WU Pei-heng.FABRICATION OF LARGE SIZE JOSEPHSON INTRINSIC JUNCTIONS BASED ON THE HIGH TEMPERATURE SUPERCONDUCTING SINGLE CRYSTAL MATERIAL[J].Chinese Journal of Low Temperature Physics,2012(5):327-332. |
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| Authors: | ZHANG Qiu-Yi JIANG Zhen-guo CHEN Jian KANG Lin XU Wei-wei WU Pei-heng |
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| Institution: | Research Institute of Superconductor Electronics,Nanjing University,Nanjing,210093 |
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