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| 极值法监控中的几个技巧问题 | |
| 引用本文： | 林永昌 ,卢维强 ,武长春.极值法监控中的几个技巧问题[J].光学技术,1980(2). |
| 作者姓名： | 林永昌 卢维强 武长春 |
| 摘 要： | <正> 一、引论当蒸发一个单层透明膜的时候,每当蒸发的薄膜厚度达到λ_0/4的整数倍时,在λ_0波长处的透过率T或反射率R就会达到极值,光电监控仪的信息就会出现一个反转点。当多层膜的所有膜层都是λ_0/4型时,都会有此现象。利用光学薄膜的这一性质监控薄膜厚度的方法,人们一般称之为“极值法”。极值法监控可以分为两大类:一类是直接监控,即所有膜层都是直接地在所生产的元件上施加监控;另一类是间接监控,这时的监控是在一系列的比较片上进行。直接监控的好处在于所监控的就是 |
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