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运用扫描技术的激光显微镜
引用本文:
詹佑邦,严跃.运用扫描技术的激光显微镜[J].光学技术,1987(3).
作者姓名:
詹佑邦
严跃
作者单位:
江苏省淮阴师专物理科 (詹佑邦),江苏省淮阴师专物理科(严跃)
摘 要:
<正> 杜比利国际商用技术公司运用扫描技术设计了一种应用于半导体器件研究以及表面特性检查的新型激光显微镜。
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