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数控抛光技术中抛光盘的去除函数
引用本文:王权陡.数控抛光技术中抛光盘的去除函数[J].光学技术,2000,26(1):32-34.
作者姓名:王权陡
作者单位::王权陡(中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室,长春;130022);刘民才(成都精密光学工程研究中心,成都 610041)
基金项目:中国工程物理研究院基金
摘    要:抛光盘去除函数的确定是数控抛光技术的应用基础,以Preston 方程为基础,应用运动学原理推导了抛光盘在行星运动及平转动两种运动方式下的材料去除函数,并通过计算机模拟出相应的工作特性曲线。结果表明,两种运动方式下工作特性曲线均在不同程度上趋近于高斯曲线。因而行星运动及平转动都可作为抛光盘的运动方式应用在CCOP技术中,使加工中的面形误差得到收敛。

关 键 词:数控抛光  去除函数  特性曲线  非球面
文章编号:1002-1582(2000)01-0032-03
修稿时间:1999-04-20

Removing function of polishing pad in computer controlled optical po lishing
WANG Quan dou ,LIU Min cai ,ZHANG Hong xia.Removing function of polishing pad in computer controlled optical po lishing[J].Optical Technique,2000,26(1):32-34.
Authors:WANG Quan dou  LIU Min cai  ZHANG Hong xia
Institution:WANG Quan dou 1,LIU Min cai 2,ZHANG Hong xia 3
Abstract:The base concept for computer controlled optical polishing (CCOP) is the deciding of material removing function of the subaperture polishing pad. Kinematic principles are applied to deduce the removing function of the polishing pad in conditions of planet motion and translation according to the Preston assumption and the respective performance curves are given to compare by computer simulation. Accoring to the analysis results, both of the two curves tend to Gauss curve in different degree, so planet motion and translation can be applied in CCOP to converge the figure error.
Keywords:computer controlled optical polishing  removing function  performance cure  aspherics
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