| 扫描隧道显微镜纳米云纹法的实验研究 |
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| 引用本文： | 谢惠民,刘战伟,尚海霞,郭海明,方岱宁,戴福隆,高鸿钧.扫描隧道显微镜纳米云纹法的实验研究[J].光学技术,2003,29(2):179-182. |
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| 作者姓名： | 谢惠民 刘战伟 尚海霞 郭海明 方岱宁 戴福隆 高鸿钧 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院真空物理开放实验室客座人员,清华大学工程力学系,北京,100084
2. 中国科学院真空物理开放实验室 |
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| 摘 要： | 提出了应用扫描隧道显微镜(STM)纳米云纹法测量面内位移的原理。测量中,把扫描隧道显微镜的探针扫描线作为参考栅,把物质原子晶格栅结构作为试件栅,对这两组栅线干涉形成的云纹进行了纳米级变形测量。对扫描隧道显微镜纳米云纹的形成原理及测量方法进行了详尽的讨论,并运用该方法对高定向裂解石墨(HOPG)的纳米级变形虚应变进行了测量研究,得到了随扫描范围变化的虚应变场,并与理论值进行了比较。
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 纳米云纹 纳米测量 晶体光栅 |
| 文章编号： | 1002-1582(2003)02-0179-04 |
| 修稿时间： | 2002年8月7日 |
Experiment study on nanometer moire method with scanning tunneling microscope |
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| Abstract: | A new scanning tunneling microscope (STM) nano moire method for measuring nanometer deformation is proposed. In the measurement, the moire pattern is generated by the scanning line of scanning tunneling microscope and the atomic lattice of substance as a specimen grating. The principle of forming STM nano moire and experimental techniques is described in detail. Nano deformation virtual strain of high orientated pyrolytic graphite(HOPG) is measured by using of this method, virtual direct strain values gained according to the change from scanning size is compared with the theoretic solution. |
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| Keywords: | scanning tunneling microscope nano- moire nano-metrology crystal lattice |
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