| 数字全息显微测量技术的发展与最新应用 |
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| 引用本文： | 周文静,于瀛洁,陈明仪.数字全息显微测量技术的发展与最新应用[J].光学技术,2007,33(6):870-874. |
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| 作者姓名： | 周文静 于瀛洁 陈明仪 |
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| 作者单位： | 1. 上海大学,精密机械工程系应用光学与检测实验室,上海,200072;广东海洋大学,信息学院自动化系,广东,湛江,524088
2. 上海大学,精密机械工程系应用光学与检测实验室,上海,200072 |
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| 基金项目： | 上海市重点学科建设资助项目(Y0102)，中国科技部中-希国际合作资助项目 |
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| 摘 要： | 数字全息显微测量技术是检测显微样本微观结构的重要手段,具有系统简单、非入侵、动态性好等特点,是一种很好地具有应用前景的技术。综述了数字全息显微测量技术的发展,分析并比较了数字全息显微测量技术与其它显微测量技术的特点;归纳并分析了数字全息显微测量技术的典型光路系统及其特点;总结了数字全息显微测量技术的数值再现算法和误差抑制技术;列举了数字全息显微测量技术的最新应用。
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| 关 键 词： | 光学测量 显微结构测量 数字全息显微技术 数值再现 误差抑制 |
| 文章编号： | 1002-1582(2007)06-0870-05 |
| 收稿时间： | 2006/10/13 |
| 修稿时间： | 2006年10月13 |
Recent developments and applications of digital micro-holography |
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| ZHOU Wen-jing,YU Ying-jie,CHEN Ming-yi.Recent developments and applications of digital micro-holography[J].Optical Technique,2007,33(6):870-874. |
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| Authors: | ZHOU Wen-jing YU Ying-jie CHEN Ming-yi |
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| Abstract: | The digital micro-holography is a important means to measure microstructure of samples,and it is a technology with characteristics of simpleness,non-contact and dynamic,and so on.The development of the digital micro-holography is summarized.The characteristics of the digital micro-holography and others micro-measurement techniques are compared and analyzed.The representative optical systems and their specialty are concluded respectively.The numerical reconstruction algorithms and aberration suppression ways are summarized roundly.Some new applications of digital micro-holography are enumerated,and some prospect are presented. |
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| Keywords: | optical measurement microstructure measurement digital micro-holography numerical reconstruction aberration suppression |
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