| 具有纳米级分辨率的超精密定位工作台 |
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| 引用本文： | 林德教,吴健,殷纯永.具有纳米级分辨率的超精密定位工作台[J].光学技术,2001,27(6):556-557. |
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| 作者姓名： | 林德教 吴健 殷纯永 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室 北京100084
(林德教，吴健)，清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室 北京100084(殷纯永) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (598750 51 ) |
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| 摘 要： | 柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一种具有较大传动比的定位工作台 ,介绍了其系统结构和工作原理 ,并对刚度性能作了分析。利用双频激光干涉仪对压电陶瓷驱动下的工作台特性进行了测量。结果表明 ,该工作台具有纳米级的分辨率和定位精度。
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| 关 键 词： | 柔性铰链 定位工作台 纳米级分辨率 压电陶瓷 双频激光干涉仪 |
| 文章编号： | 1002-1582(2001)06-0556-02 |
| 修稿时间： | 2001年1月2日 |
Super-precision positioning stage with nanometer resolution |
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| LIN De-jiao,WU Jian,YIN Chun-yong.Super-precision positioning stage with nanometer resolution[J].Optical Technique,2001,27(6):556-557. |
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| Authors: | LIN De-jiao WU Jian YIN Chun-yong |
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| Abstract: | The precision positioning stage utilizing flexure hinges takes the numerous advantages of direct transmission, no friction, no backlash, compactness, satisfactory stiffness and high resolution. This paper develops a novel positioning stage with large transmission ratio, introduces the system structure and basic principle, analyzes its performance of stiffness. A dual-frequency interferometer is employed to evaluate the feature of the stage driven by piezoelectric ceramic(PZT). The experimental results show that the stage has the resolution and positioning accuracy of nanometer order. |
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| Keywords: | flexure hinges positioning stage nanometer resolution piezoelectric ceramic dual-frequency interferometer |
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