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新型AFM探针的制备及应用
引用本文:温芳,祝生祥,李锐.新型AFM探针的制备及应用[J].光学技术,2002,28(5):398-400.
作者姓名:温芳  祝生祥  李锐
作者单位:同济大学,固体物理研究所,上海,200092
基金项目:国家自然科学基金资助项目 (项目号 :698770 1 4 )
摘    要:采用熔拉 -腐蚀复合方法 ,将普通单模石英光纤制成直锥形光纤探针。利用自制工具将探针打弯 ,制成悬臂式光纤探针 ,在AFM上取得了较理想的测试结果。将自制光纤探针和商用硅材料探针获得的两种扫描图像进行了对比 ,分析了悬臂式光纤探针的特点

关 键 词:原子力显微镜  悬臂光纤探针  光学偏转法
文章编号:1002-1582(2002)05-0398-03
修稿时间:2001年11月5日

Fabrication and characterization of a new optical fiber probe for atomic force microscopy
WEN Fang,ZHU Sheng-xiang,LI Rui.Fabrication and characterization of a new optical fiber probe for atomic force microscopy[J].Optical Technique,2002,28(5):398-400.
Authors:WEN Fang  ZHU Sheng-xiang  LI Rui
Abstract:A practical and simple method to fabricate the cantilever optical fiber probe for AFM is presented. First, an optical fiber straight tapered probe is produced in pulling-etching method, followed to shape into the cantilever probe by heating with CO 2 laser beam. After coating tip with aluminum, the probe is applied to AFM. The scanning image botained is satisfied, and is compared with image of commercial silica cantilever probe.
Keywords:atomic force microscopy  cantilever optical fiber probe  optic deflection method
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