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高精度大口径平面镜瑞奇康芒定量检测方法研究
引用本文:田秀云,吴时彬,伍凡,陈强,吴永前.高精度大口径平面镜瑞奇康芒定量检测方法研究[J].光学技术,2004,30(4):486-488.
作者姓名:田秀云  吴时彬  伍凡  陈强  吴永前
作者单位:中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209
基金项目:国家高技术863-806课题资助项目
摘    要:瑞奇 康芒法是检测大口径平面时的行之有效的方法。由于被检平面处于发散光路中,这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂,推导起来十分困难,故长期以来该方法只能作为一种定性或半定量的检测手段。给出了数学算法,推导出了被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系,实现了瑞奇 康芒的定量检测。

关 键 词:瑞奇康芒检验  定量检测  影响函数
文章编号:1002-1582(2004)04-0486-03
修稿时间:2003年9月24日

Quantitative test method of Ritchey-Common test in large high precision flat measurements
TIAN Xiu-yun,WU Shi-bin,WU Fan,CHEN Qiang,WU Yong-qian.Quantitative test method of Ritchey-Common test in large high precision flat measurements[J].Optical Technique,2004,30(4):486-488.
Authors:TIAN Xiu-yun  WU Shi-bin  WU Fan  CHEN Qiang  WU Yong-qian
Abstract:Ritchey-Common test is an effective method for large flat measurement. The flat is set in divergent beam, the relation between figure errors of flat and wave-front aberrations (influence function) is complicated and difficult to derive, therefore it's usually regarded as a qualitative or semi-quantitative way. An algorithm is given, the influence function is deduced, and the quantitative test is realized.
Keywords:Ritchey-Common test  quantitative test  influence function  
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