五维自动调整差动共焦间隙测量方法

为精确、快速测量镜组内各透镜间的轴向间隙，提出一种基于五维自动调整的差动共焦间隙测量方法。该方法根据CCD探测器实时获取的光斑信号检测被测镜组光轴的平移偏差与倾斜偏差，依据偏差信息、通过五维自动调整技术实现镜组高精度调整，再利用差动共焦高精度层析定焦和镜组内部光线追迹实现轴向间隙高精度测量。分析和实验表明，本方法可以有效提高姿态调整效率3.4倍，透镜间隙重复测量精度可达到0.53μm。该方法为实现镜组间隙的快速高精度测量提供了有效途径，同时还为透镜的中心厚度、焦距、半径等多种参数快速高精度测量提供了有效方法。