| AFM制作纳米光栅技术研究 |
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| 引用本文： | 张鸣,张伟,华心,谢惠民,陈鹏万,黄风雷.AFM制作纳米光栅技术研究[J].光学技术,2006,32(3):330-332. |
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| 作者姓名： | 张鸣 张伟 华心 谢惠民 陈鹏万 黄风雷 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学,工程力学系,北京,100084
2. 北京理工大学,机电工程学院,北京,100081 |
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| 基金项目： | 广东省博士启动基金
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教育部优秀青年教师资助计划
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科技部科研项目
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中国科学院资助项目 |
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| 摘 要： | 在扫描探针纳米加工技术的基础上,提出了利用原子力显微镜(AFM)来制作高频光栅的新工艺。利用AFM硅制探针,在接触模式下对光盘(聚碳酸酯材料)进行刻划试验。对刻划光栅的工艺参数进行优化,得到了纳米量级光栅。并将刻划所得光栅应用于数字云纹法,与数字参考栅干涉形成微/纳米数字云纹。实验结果表明,该法所制得的光栅可以应用于实际变形的测量。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 微纳米加工 光栅制作 数字云纹 |
| 文章编号： | 1002-1582(2006)03-0330-03 |
| 收稿时间： | 2005/3/13 |
| 修稿时间： | 2005年3月13日 |
Technique of nano-grating fabricated by AFM |
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| ZHANG Ming,ZHANG Wei,HUA Xin,XIE Hui-min,CHENG Peng-wan,HUANG Feng-lei.Technique of nano-grating fabricated by AFM[J].Optical Technique,2006,32(3):330-332. |
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| Authors: | ZHANG Ming ZHANG Wei HUA Xin XIE Hui-min CHENG Peng-wan HUANG Feng-lei |
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| Abstract: | On the basis of micro-fabrication technique using the atomic force microscope,a new method was proposed for producing high frequency grating. The grating was fabricated on compact disc (polycarbonate) with silicon AFM tip under the contact mode. The fabrication technique was discussed. The experimental parameters were optimized. A grating of nanostructure was formed. As further application,the formed grating involves with digital grating to form digital moiré. The grating can be used in deformation measurement of objects in nano-deformation. |
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| Keywords: | atomic force microscope(AFM) nano-lithography grating fabrication digital moiré |
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