| MEMS动态测试系统及其数据处理 |
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| 引用本文： | 周明才,白金鹏,谢勇君,来五星,史铁林.MEMS动态测试系统及其数据处理[J].光学技术,2004,30(4):398-402. |
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| 作者姓名： | 周明才 白金鹏 谢勇君 来五星 史铁林 |
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| 作者单位： | 华中科技大学 微系统研究中心,湖北 武汉 430074;华中科技大学 微系统研究中心,湖北 武汉 430074;华中科技大学 微系统研究中心,湖北 武汉 430074;华中科技大学 微系统研究中心,湖北 武汉 430074;华中科技大学 微系统研究中心,湖北 武汉 430074 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助项目(2002AA404100) |
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| 摘 要： | 介绍了基于频闪显微干涉技术的MEMS动态测试系统的测量原理,设计了数据分析处理算法。采用基于立方插值的亚像素模板匹配技术实现了1/50像素的面内位移测量精度。利用分割线去包裹算法实现了从干涉图到三维形貌图的重构。
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| 关 键 词： | 微机电系统 动态测试 亚像素定位 立方样条插值 相位去包裹 |
| 文章编号： | 1002-1582(2004)04-0398-05 |
| 修稿时间： | 2003年9月28日 |
MEMS dynamic testing system and data processing |
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| ZHOU Ming-cai,BAI Jing-peng,XIE Yong-jun,LAI Wu-xing,SHI Tie-lin.MEMS dynamic testing system and data processing[J].Optical Technique,2004,30(4):398-402. |
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| Authors: | ZHOU Ming-cai BAI Jing-peng XIE Yong-jun LAI Wu-xing SHI Tie-lin |
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| Abstract: | A MEMS dynamic testing system based on stroboscopic microscopic interferometry is introduced. The algorithm of data analyzing is developed. The in-plane motion is measured with accuracy of 1/50 pixel by a sub-pixel template matching algorithm based on cubic spline interpolation. The fringe patterns are transformed to a 3-dimensional surface topography by a branch cut phase-unwrapping algorithm. |
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| Keywords: | MEMS dynamic test sub-pixel locating cubic spline interpolation phase unwrapping |
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