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垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统
引用本文:戴蓉,谢铁邦,常素萍.垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统[J].光学技术,2006,32(4):545-547.
作者姓名:戴蓉  谢铁邦  常素萍
作者单位:华中科技大学机械科学与工程学院,华中科技大学机械科学与工程学院,华中科技大学机械科学与工程学院 武汉430074,武汉理工大学机电工程学院,武汉430070,武汉430074,武汉430074
摘    要:依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力,可用于表面粗糙度、台阶、膜厚、球面等三维形貌测量。

关 键 词:表面三维形貌  白光干涉  微动工作台  有限元分析
文章编号:1002-1582(2006)04-0545-03
收稿时间:2005/7/25
修稿时间:2005年7月25日

A vertical scanning white-light interfering profilometer
DAI Rong.A vertical scanning white-light interfering profilometer[J].Optical Technique,2006,32(4):545-547.
Authors:DAI Rong
Abstract:Based on the white-light interference,a vertical scanning white-light interfering profilometer was designed.The stage to realize the vertical scanning motion is analyzed.The vertical positioning of the profilometer is 1nm,and can be applied to measuring surface roughness,step height,film thickness etc.
Keywords:3D surface profile  white-light interference  nano-positioning stage  finite element analysis  
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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