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微流控光学器件与系统的研究进展
引用本文:吴建刚,岳瑞峰,曾雪锋,刘理天.微流控光学器件与系统的研究进展[J].光学技术,2006,32(1):71-74.
作者姓名:吴建刚  岳瑞峰  曾雪锋  刘理天
作者单位:清华大学,微电子学研究所,北京,100084
基金项目:国家自然科学基金资助项目(10472055),清华大学基础研究资金项目(JC2003060)
摘    要:微流控技术作为微全分析系统的关键与核心,一直是MEMS领域中的一个研究重点。随着微流控技术水平的不断提高以及与其它学科的不断渗透与融合,近年来已经涌现出一批令人注目的研究热点,其中微流控光学器件就是其典型代表。微流控技术与光学器件的融合,为传统光学器件的微型化、阵列化、低成本化以及高精度控制提供了可能。叙述了一些基于微流控技术的可变焦光透镜、显示器件、光开关、以及可调光纤光栅等新型光学器件的近期研究成果和应用背景。

关 键 词:微流控  MEMS  光学器件  介质上电润湿  热毛细管
文章编号:1002-1582(2006)01-0071-04
收稿时间:2004/12/20
修稿时间:2004年12月20

Review of optical devices and systems based on microfluidics
WU Jian-gang,YUE Rui-feng,ZENG Xue-feng,LIU Li-tian.Review of optical devices and systems based on microfluidics[J].Optical Technique,2006,32(1):71-74.
Authors:WU Jian-gang  YUE Rui-feng  ZENG Xue-feng  LIU Li-tian
Abstract:Microfluidics is the basis of micro total analysis system (μTAS) and the research spotlight in Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) now. With the development of microfluidics and the cooperation with other technologies,many new areas,especially microfluidic optical devices,come into being. It is possible that the miniaturization,arraying,low-cost and precise control of the optical devices are realized by the cooperation between microfluidic technology and optical devices. Some typical optical devices and applications are presented,including variable-focusing microlens,display device,optical switch,tunable optical fiber and grating.
Keywords:micro fluidics  MEMS  optical device  electrowetting-on-dielectric  thermo-capillary  
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