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离子束溅射和离子辅助淀积DWDM滤光片的膜厚均匀性
引用本文:顾培夫,李海峰,章岳光,刘旭,唐晋发.离子束溅射和离子辅助淀积DWDM滤光片的膜厚均匀性[J].光学技术,2001,27(5):410-412.
作者姓名:顾培夫  李海峰  章岳光  刘旭  唐晋发
作者单位:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州310027
摘    要:用离子束溅射和离子辅助淀积技术制备DWDM滤光片的关键问题是必须获得优良的膜层厚度均匀性。采用实验修正膜层厚度修正板的办法获得了较好的均匀性分布 ,给出了实验配置、实验方法和实验结果 ,并对实验结果作了分析讨论

关 键 词:离子束溅射  DWDM滤光片  厚度均匀性
文章编号:1002-1582(2001)05-0410-03
修稿时间:2001年4月9日

Uniformity of layer thickness of DWDM filters prepared by ion-beam sputtering and ion-assisted deposition
GU Pei fu,LI Hai feng,ZHANG Yue guang,LIU Xu,TANG Jin fa.Uniformity of layer thickness of DWDM filters prepared by ion-beam sputtering and ion-assisted deposition[J].Optical Technique,2001,27(5):410-412.
Authors:GU Pei fu  LI Hai feng  ZHANG Yue guang  LIU Xu  TANG Jin fa
Abstract:The uniformity of layer thickness of DWDM filters is a key point. An excellent uniformity distribution is achieved by means of using a thickness trimming mask. Experimental setup, method and results of uniformity of layer thickness are presellted and discussed.
Keywords:ion  beam sputtering  DWDM filter  uniformity of layer thickness  
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