| 高精密运动工作台控制系统的设计与研究 |
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| 引用本文： | 蒋培军,齐国生,徐端颐,李庆祥,李晟,李玉和.高精密运动工作台控制系统的设计与研究[J].光学技术,2003,29(6):723-726. |
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| 作者姓名： | 蒋培军 齐国生 徐端颐 李庆祥 李晟 李玉和 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心,北京,100084 |
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| 基金项目： | 973国家重点基础研究规划项目资助(G19990330) |
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| 摘 要： | 设计并研制了用于母盘刻录机的高精密运动工作台及其控制系统。工作台控制系统采用线光栅作为工作台位移检测工具。采用数字位置环和模拟电流环组成双闭环随动系统,其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器。实验结果表明,该系统可以满足母盘刻录机的要求。
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| 关 键 词： | 母盘刻录 精密运动工作台 前馈控制 线光栅 |
| 文章编号： | 1002-1582(2003)06-0723-04 |
| 修稿时间： | 2003年4月1日 |
Design and research on control system for high precision table |
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| Abstract: | An approach of high precision table and its control system for optical disc mastering device is proposed. The control system is a follow up system with double close loop:digital position loop and analog current loop. Lincar grating is adopted as position measuring tool. The DSP based on position controller combines PID servo, velocity feedforward and acceleration feedforward to improve response speed. Experiment results show it can meet the need of optical disc mastering. |
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| Keywords: | disc mastering precision table feedforward control linear grating |
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